| Найдено документов - 4 | Найти похожие: "Индекс УДК" = '66.088' | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Диссертация
Жаворонок, И. А.
Исследование влияния СВЧ плазмохимической обработки на зарядовые состояния полупроводниковых структур интегральных микросхем : дисс. на соиск. степени магистра техн. наук : 1-39 80 03 / И. А. Жаворонок ; науч. рук. С. И. Мадвейко. - Минск : БГУИР, 2023. - 46 с. + автореферат. - Диссертации и авторефераты диссертаций.
Исследование влияния СВЧ плазмохимической обработки на зарядовые состояния полупроводниковых структур интегральных микросхем : дисс. на соиск. степени магистра техн. наук : 1-39 80 03 / И. А. Жаворонок ; науч. рук. С. И. Мадвейко. - Минск : БГУИР, 2023. - 46 с. + автореферат. - Диссертации и авторефераты диссертаций.
Авторы: Жаворонок И. А.
Шифры: 66 - Ж13
Ключевые слова: плазмохимическая обработка, полупроводниковые структуры, интегральные микросхемы, СВЧ-устройства
Экземпляры: Всего: 1, из них: чз науч-1
2. Диссертация
Тубольцев, В. В.
Устройство и метод формирования активных частиц для ускорения плазмохимических технологических процессов : дисс. на соиск. степени магистра техн. наук : 1-38 80 02 / В. В. Тубольцев ; науч. рук. С. В. Бордусов. - Минск : БГУИР, 2020. - 52 с. + автореферат. - Диссертации и авторефераты диссертаций.
Устройство и метод формирования активных частиц для ускорения плазмохимических технологических процессов : дисс. на соиск. степени магистра техн. наук : 1-38 80 02 / В. В. Тубольцев ; науч. рук. С. В. Бордусов. - Минск : БГУИР, 2020. - 52 с. + автореферат. - Диссертации и авторефераты диссертаций.
Авторы: Тубольцев В. В.
Шифры: 66 - Т81
Ключевые слова: технологические процессы, плазма, химия
Экземпляры: Всего: 1, из них: чз науч-1
3. Диссертация
Емельянов, В. В.
Технология селективного плазмохимического травления нитрида кремния к поликристаллическому кремнию : дисс. на соиск. степени магистра техн. наук : 1-41 80 02 / В. В. Емельянов ; науч. рук. С. В. Бордусов. - Минск : БГУИР, 2020. - 127 с. + автореферат. - Диссертации и авторефераты диссертаций.
Технология селективного плазмохимического травления нитрида кремния к поликристаллическому кремнию : дисс. на соиск. степени магистра техн. наук : 1-41 80 02 / В. В. Емельянов ; науч. рук. С. В. Бордусов. - Минск : БГУИР, 2020. - 127 с. + автореферат. - Диссертации и авторефераты диссертаций.
Авторы: Емельянов В. В.
Шифры: 66 - Е60
Ключевые слова: плазмохимическое травление, нитриды кремния, поликристаллический кремний
Экземпляры: Всего: 1, из них: чз науч-1
4. Диссертация
Клецкова, Е. Б.
Газоразрядная система барьерного типа атмосферного давления : дисс. на соиск. степени магистра техн. наук : 1-41 80 02 / Е. Б. Клецкова ; науч. рук. С. В. Бордусов. - Минск : БГУИР, 2017. - 74 с. + автореферат. - Диссертации и авторефераты диссертаций.
Газоразрядная система барьерного типа атмосферного давления : дисс. на соиск. степени магистра техн. наук : 1-41 80 02 / Е. Б. Клецкова ; науч. рук. С. В. Бордусов. - Минск : БГУИР, 2017. - 74 с. + автореферат. - Диссертации и авторефераты диссертаций.
Авторы: Клецкова Е. Б.
Шифры: 66 - К48
Ключевые слова: газоразрядные системы
Экземпляры: Всего: 1, из них: чз науч-1
Ссылка на ресурс: https://libeldoc.bsuir.by/bitstream/123456789/29399/1/Kleckova.pdf