| Поле | Инд. | ПП | Название | Значение |
|---|---|---|---|---|
| Тип записи | a | |||
| Библиографический уровень | m | |||
| 001 | Контрольный номер | RU/IS/BASE/651256324 | ||
| 005 | Дата корректировки | 20230315164940.1 | ||
| 040 | b | Код языка каталог. | rus | |
| 041 | 0_ | a | Код языка текста | rus |
| 080 | a | Индекс УДК | 66.088 | |
| 084 | a | Индекс другой классификации/Индекс ББК | 35.20 | |
| 090 | a | Полочн. индекс | 66 | |
| x | Авторский знак | Е60 | ||
| 097 | b | Оператор | 02 | |
| 100 | 1_ | a | Автор | Емельянов В. В. |
| 245 | 10 | a | Заглавие | Технология селективного плазмохимического травления нитрида кремния к поликристаллическому кремнию |
| b | Продолж. заглавия | дисс. на соиск. степени магистра техн. наук : 1-41 80 02 | ||
| c | Ответственность | науч. рук. С. В. Бордусов | ||
| h | Физич. носитель | + электр. вариант | ||
| 260 | a | Место издания | Минск | |
| b | Издательство | БГУИР | ||
| c | Дата издания | 2020 | ||
| 300 | a | Объем | 127 с. | |
| e | Сопроводительные материалы | автореферат | ||
| 510 | 0_ | a | Примечание о ссылках | Диссертации и авторефераты диссертаций |
| 653 | 0_ | a | Ключевые слова | плазмохимическое травление; нитриды кремния; поликристаллический кремний |
| 856 | 40 | u | URL | https://libeldoc.bsuir.by/bitstream/123456789/42554/1/Emelyanov_Tehnologiya.pdf |
| 901 | t | Тип документа | d |