| Поле | Инд. | ПП | Название | Значение |
|---|---|---|---|---|
| Тип записи | a | |||
| Библиографический уровень | m | |||
| 001 | Контрольный номер | 30b50cb0aebf4d72a6f01accd48b58b8 | ||
| 005 | Дата корректировки | 20231025170906.1 | ||
| 020 | c | Цена, тираж | б. ц. | |
| 040 | b | Код языка каталог. | rus | |
| e | Правила каталог. | PSBO | ||
| 041 | 0_ | a | Код языка текста | rus |
| 080 | a | Индекс УДК | 66.088 | |
| 080 | a | Индекс УДК | 621.3.049.77 | |
| 084 | a | Индекс другой классификации/Индекс ББК | 30.61 | |
| 084 | a | Индекс другой классификации/Индекс ББК | 32.844.1 | |
| 090 | a | Полочн. индекс | 66 | |
| x | Авторский знак | Ж13 | ||
| 097 | b | Оператор | 02 | |
| 100 | 1_ | a | Автор | Жаворонок И. А. |
| 245 | 10 | a | Заглавие | Исследование влияния СВЧ плазмохимической обработки на зарядовые состояния полупроводниковых структур интегральных микросхем |
| b | Продолж. заглавия | дисс. на соиск. степени магистра техн. наук : 1-39 80 03 | ||
| c | Ответственность | науч. рук. С. И. Мадвейко | ||
| 260 | c | Дата издания | 2023 | |
| a | Место издания | Минск | ||
| b | Издательство | БГУИР | ||
| 300 | a | Объем | 46 с. | |
| e | Сопроводительные материалы | автореферат | ||
| 510 | 0_ | a | Примечание о ссылках | Диссертации и авторефераты диссертаций |
| 653 | 0_ | a | Ключевые слова | плазмохимическая обработка; полупроводниковые структуры; интегральные микросхемы; СВЧ-устройства |
| 856 | 40 | u | URL | https://libeldoc.bsuir.by/bitstream/123456789/53325/1/Javoronok_Issledovanie.pdf |
| 901 | t | Тип документа | d |