| Поле | Инд. | ПП | Название | Значение |
|---|---|---|---|---|
| Тип записи | a | |||
| Библиографический уровень | m | |||
| 001 | Контрольный номер | RU/IS/BASE/433436195 | ||
| 005 | Дата корректировки | 20230621094712.2 | ||
| 040 | b | Код языка каталог. | rus | |
| 041 | 0_ | a | Код языка текста | rus |
| 080 | a | Индекс УДК | 621.385.6 | |
| 090 | a | Полочн. индекс | 621.385 | |
| x | Авторский знак | М13 | ||
| 097 | b | Оператор | 02 | |
| 100 | 1_ | a | Автор | Мадвейко С. И. |
| 245 | 10 | a | Заглавие | Вакуумно-плазменная СВЧ разрядная система резонаторного типа для плазмохимического удаления фоторезистивных слоев |
| b | Продолж. заглавия | дисс. на соиск. учёной степени канд. техн. наук : 05.27.06 | ||
| 260 | a | Место издания | Минск | |
| b | Издательство | БГУИР | ||
| c | Дата издания | 2013 | ||
| 300 | a | Объем | 147 с. | |
| 510 | 0_ | a | Примечание о ссылках | Диссертации и авторефераты диссертаций |
| 653 | 0_ | a | Ключевые слова | вакуум; плазма; сверхвысокие частоты; резонаторы; фоторезисты |
| 901 | t | Тип документа | d |