| Поле | Инд. | ПП | Название | Значение |
|---|---|---|---|---|
| Тип записи | a | |||
| Библиографический уровень | m | |||
| 001 | Контрольный номер | 51eb97ea43344d3d8ffc781d9dd860b9 | ||
| 005 | Дата корректировки | 20230113121621.1 | ||
| 040 | b | Код языка каталог. | rus | |
| 041 | 0_ | a | Код языка текста | rus |
| 080 | a | Индекс УДК | 621.3.049.77 | |
| 084 | a | Индекс другой классификации/Индекс ББК | 32.844.1 | |
| 090 | a | Полочн. индекс | 621.382 | |
| x | Авторский знак | Н23 | ||
| 097 | b | Оператор | 02 | |
| 100 | 1_ | a | Автор | Наливайко О. Ю. |
| 245 | 10 | a | Заглавие | Формирование из газовой фазы функциональных слоёв субмикронных структур интегральных микросхем на основе кремния |
| b | Продолж. заглавия | дисс. на соиск. учёной степени канд. техн. наук : 05.27.01 | ||
| 260 | c | Дата издания | 2022 | |
| a | Место издания | Минск | ||
| b | Издательство | БГУИР | ||
| 300 | a | Объем | 199 с. | |
| 510 | 0_ | a | Примечание о ссылках | Диссертации и авторефераты диссертаций |
| 653 | 0_ | a | Ключевые слова | интегральные схемы; кремний |
| 901 | t | Тип документа | d |